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1）潔凈等級
專業(yè)高效潔凈過濾裝置，濾網(wǎng)采用進口超細(xì)玻璃纖維,確保潔凈柜內(nèi)CLASS 10~100級/1000級（10級一般是指空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒情況下，必潔淨(jìng)度能逹到須滿足每立方英尺內(nèi)顆粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。
2）TDH實驗
即存放在潔凈柜內(nèi)經(jīng)過干燥2小時的硅片不能有不正常或超標(biāo)返顆粒的現(xiàn)象產(chǎn)生(返顆粒取樣測試后總數(shù)平均數(shù)與原有硅片顆粒數(shù)對比≦10ea (包括0.2um及0.3um))
3）降濕速度
除濕性能可達到5%以下,空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒，在氮氣流量不大于70L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時間不大于30min；
4) 進口無塵風(fēng)機：采用進口無塵室專用FFU風(fēng)機，面風(fēng)速：0.3～0.45m/s；
5）靜電殘余值測定施耐爾全功能潔凈氮氣柜（選配）
潔凈氮氣柜內(nèi)放置的硅片盒，經(jīng)過干燥2小時后，硅片盒取樣及定點測試靜電值必須≦1kv
6）柜內(nèi)風(fēng)速均勻性
潔凈柜內(nèi)有氮氣的無死角，可使用風(fēng)速測定儀來檢測內(nèi)部硅片放置各點的風(fēng)速，不能有較大差異。
7）溫濕度顯示及記錄管理。
溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達30米；
溫濕度顯示監(jiān)控: 可對溫濕度作24小時不間斷的監(jiān)控，在潔凈柜在完全關(guān)閉的情況下，濕度不能有超過±5%RH的波動。
▲結(jié)構(gòu)特點：
?規(guī)格尺寸：W1300*D800*H1850mm。
選配：自制氮氣裝置、氧含量控制、不銹鋼箱體、溫濕度記錄軟件、報警裝置、箱內(nèi)照明等。
潔凈：潔凈等級十級、百級、千級可選.
咨詢電話：0510-88358100
咨詢客服：18861603213 18362387720
企業(yè)QQ：2438212168 業(yè)務(wù)郵箱：sales@sneier.com
客服郵箱：service@sneier.com
工廠地址：江蘇省無錫市新吳區(qū)碩放新農(nóng)路3號
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